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第80章 大佬的帮助（第2页）

EUV光刻机的工作原理并不算复杂，就是将非常窄的光束照射到经过“光刻胶”化学品处理的硅晶片上，在光线与化学品接触的硅基晶片上形成复杂的图案，这些图案是事先精心设计好的。

这个形成所有重要晶体管的过程被称为光刻。

他们的石墨烯芯片的生产，自然也是相同的，不过这个过程说起来很简单，实际上超级复杂，在指甲盖大小的晶圆上安装数以亿计的晶体管，要想将这些晶体管连接起来，只能采用纳米级的电路。

光刻机中的曝光光源决定了光刻工艺加工器件的线宽等特征尺寸，当前市场主流采用深紫外（DUV，193nm）光源，最先进的是采用极紫外（EUV，13.5nm）光源的的EUV光刻机。

可这是针对于硅晶圆旋涂的光刻胶。

张旭他们研究的是石墨烯晶圆旋涂的光刻胶。

这两者完全不相同的材料，所使用的光源自然也就不一样。

光刻机大项目的负责人黄亮，带领着团队，上一休一，持续了三个多月，终于在动力系统、测量系统、避震系统、密封系统、液压光镜材料等等方面都取得了不错的成果，可现在他们却卡在了光源这一步。

这让张旭有些头疼，光源这东西，张旭又不能直接给这些研究人员说，我们试试这个光源，一定能够成功，然后拿出详细的资料来，这不明摆着告诉他们这些人，我有问题吗。

所以张旭就只能和这些研究员们一起做研究，尽可能的把他们往自己想要的方向去带。

“哦，对了，还有一件事情，我求教我的老师了，希望他能够在这方面帮帮我们，老师给我了一份资料，我还没有来来得及看，张总要不要过来参谋一下？”

秦彤本来还在聊着待会的测试的问题，突然想起了什么，连忙转移话题说道。

“你的老师？”

张旭疑惑的问道。

秦彤可是清华大学毕业的博士生，能够当她老师的，估计是清华大学里面的大佬了，这种大佬给出的建议，张旭还是觉得很有参考价值的。

想到这里，张旭连忙点了点头。

“这就是我老师给的资料，我老师前段时间就在和德国那边进行相关的研究，我听师妹说好像马上要出成果了。”

秦彤一边介绍着，一边把老师给的资料找了出来。

而从秦彤的介绍中，张旭也知道了她的老师是谁。

唐翔。

清华大学物理系主任。去年入选华夏工程院院士增选名单，按照这个流程，估计不出几年就能够评上院士了。

这确实是大佬级别的人物。

而且这位大佬研究方向为加速器物理、高亮度电子注入器、加速结构、新型X射线源等，在光源方面有比较深的研究

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