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第422章 euv难度更大(第2页)

Smee和ASML一样,都是系统组合商。

核心技术聚焦设备组合,而不是设备研发。

介绍完且相互认识之后,众人一同来到会议室。

依次坐定,常乐说:

“首先,要感谢各位八年来的不懈努力和辛勤付出。”

“因为你们的砥砺奋进、守望相助,国产光刻机才能在如此短的时间内,实现Krf光刻到ArFi光刻的三级跳,取得了历史性突破。”

“但是,现在还不是我们庆功的时候。”

“新的挑战就在眼前,站在技术迭代的关键十字路口,下一步我们该怎么走,还需要再确定、再出发。”

掌声!

常乐说完这几句话,问何融明:“何总,目前Asml那边EUV光刻机什么进展?”

“据我们所知,应该已经完成原型机研发,但离真正上市商用,还需要时间,具体时间不确定。”何融明说。

“那这么说,我们和Asml的差距不大了?”常乐继续问。

“嗯……单单产品方面看,差距确实不大,甚至我们还更有优势。”何融明解释道:

“但是从技术和产品积累看,我们要走的路还有很长。”

“因为他们研发Euv,走了22年,必然遇到我们想都想不到的问题。这些问题,接下来我们都会遇到。”

“嗯。”常乐点头,继续问:“何总,从Duv跨越到Euv难点在哪里?”

“难点很多,光源、物镜、工作台等等都是非常关键的环节点。”何融明说:

“老板,要不这样,让在座的企业负责人介绍一下?术业有专攻,他们更专业,也更容易解释清楚。”

“行。”常乐点头。

于是,启尔电机负责人先发言:

“常总,何总,我先说说吧。”

“好。”

“首先感谢常总、何总这些年,对启尔电机的关心和支持,没有SMEE的资金支持和帮助,启尔电机不可能走到上市前夜。”

“什么时候上市?”常乐问。

“12月。”

“那我们之前买的那些股票要值钱了。”

“哈哈……”

短暂笑过,启尔电机负责人开始正式介绍情况:

“启尔电机主要为DuvArFi光刻提供浸没系统。”

“通过浸没系统和光的折线效应,实现了193纳米到134纳米的等效波长,Arf光刻推进到Arfi光刻才成为可能。”

浸没系统,就是将镜片与硅片之间的空间,浸入特殊液体中。

由于液体折射率大于1,能够使193纳米波长光源缩短至134纳米,从而实现更高分辨率。

也顺带,将光刻工艺节点从45纳米推进到14纳米、10纳米。

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